3D光學(xué)輪廓儀S neox的大視野測(cè)量能力

在質(zhì)量控制和失效分析中，往往需要在宏觀和微觀尺度上同時(shí)對(duì)樣品進(jìn)行考察。例如，需要評(píng)估一個(gè)大型光學(xué)元件的面形精度，同時(shí)又要檢測(cè)其局部區(qū)域的微小劃痕或瑕疵。這就要求測(cè)量設(shè)備既具備“俯瞰全局"的大視野掃描能力，又擁有“明察秋毫"的高倍放大細(xì)節(jié)測(cè)量功能。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過(guò)其精密的機(jī)械平臺(tái)、光學(xué)系統(tǒng)和智能軟件，實(shí)現(xiàn)了從宏觀到微觀的無(wú)縫銜接測(cè)量。

大視野測(cè)量的首要挑戰(zhàn)是如何突破單次視場(chǎng)的限制。S neox通過(guò)“圖像拼接"技術(shù)來(lái)解決這一問(wèn)題。儀器驅(qū)動(dòng)電動(dòng)樣品臺(tái)或掃描鏡，按照預(yù)設(shè)的網(wǎng)格路徑移動(dòng)，系統(tǒng)自動(dòng)采集相鄰的一系列圖像和三維數(shù)據(jù)。隨后，利用軟件的高精度拼接算法，將這些有重疊區(qū)域的數(shù)據(jù)塊無(wú)縫拼接成一幅完整的、高分辨率的大面積三維形貌圖。這個(gè)過(guò)程可以是全自動(dòng)的，用戶只需定義拼接的行數(shù)和列數(shù)，或者直接設(shè)定需要覆蓋的矩形區(qū)域即可。

此外，對(duì)于需要統(tǒng)計(jì)性分析的場(chǎng)景，如表面某種缺陷的分布密度，大視野測(cè)量提供了統(tǒng)計(jì)的基礎(chǔ)。軟件可以在拼接后的三維圖上，設(shè)定 criteria，自動(dòng)識(shí)別和定位所有符合特征的區(qū)域，并記錄其位置、尺寸、深度等信息，為統(tǒng)計(jì)分析提供豐富的數(shù)據(jù)樣本。

Sensofar S neox的大視野測(cè)量能力，打破了宏觀與微觀觀察之間的壁壘。它將3D光學(xué)輪廓儀的高分辨率優(yōu)勢(shì)從單個(gè)視場(chǎng)擴(kuò)展到了整個(gè)樣品表面，為用戶提供了更全面、更立體的樣品信息。這種從整體到局部的工作流程，更符合現(xiàn)代研究和質(zhì)檢的實(shí)際需求，提升了設(shè)備的數(shù)據(jù)產(chǎn)出效率和洞察力。

3D光學(xué)輪廓儀S neox的大視野測(cè)量能力